四探针法测方块电阻的原理

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【导读】四探针法测方块电阻的原理四探针法测方块电阻的原理四探针法是一种简便的测量电阻率的方法。对于一般的线性材料，我们常常用电阻来表征某一段传输电流的能力，其满足以下关系式：

四探针法测量方电阻的原理

四探针法测量方电阻的原理

针法是一种测量电阻率的简单方法。对于一般的线性材料，我们经常使用电阻来表征某个段传输电流的能力，这满足以下关系：

（ span> 3-1）

where ρ ， l 和 s 分别材料本身的电阻率，长度和横截面积。对于某种材料 ρ 满足关系表达式：

（ style 3-2）

n _e ， n _h ， u _n ， u _h 和 q 分别是电子浓度，空穴浓度，电子迁移率，空穴迁移率和碱性电荷。

对于具有一定导电性的薄膜材料，其沿平面方向的电荷传输性能通常用薄层电阻表示，边长为 < span> l ，厚度为 x _j 方形膜，其抗阻性可以表示为：

_3-3）

薄层电阻与电阻率成正比 ρ 与膜厚成比例成反比，并且无关正方形的边长不是。

方形电阻通常通过双电测量四个探头来测量。测量设备如图 3-4 所示。四个由钨丝制成的探头以相等的间隔排列在一条直线上，其距离为（通常几span>）。测量时，将针尖按在薄膜样品的表面上，两个外部探针通电 I （常规选择 0.5〜2 ），内部的两个探头用于测量电压，通常用电位计测量。

图片 3-4 用四个用于双电测量的探针测量薄膜的薄层电阻的结构简化图

当被测样品的长度和宽度远大于探针间距时，薄层电阻的具体表达式为：

（样式 3-4）

，薄膜的平方电阻和。它与外部探针通电后内部探针产生的电势差有关。如果样品的线性度不大于探针间距，则上式中的系数必须合适。 c 校正值与被测样品的形状和大小有关。

C = 4.53

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2006-12-07 11:40:27

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