跨尺度微纳加工技术在超微电极制备中的应用
跨尺度微纳加工技术一般指微米、 纳米级(1-100nm)的材料、 设计、制造、测量、控制和产品的研究、加工、制造以及应用术由于受到基础装备、工艺技术、科研经费、行业基础等多方面因素的影响。我国的微纳制造技术的研究与世界先进水平之间尚有差距。
从制造角度来说,国内的微纳技术应用除了在微电子技术、生命科:学生物工程及材料应用外,在机电工程领域如静电陀螺等精确制导系统方面也有应用。但总体上来说,国内微纳制造加工成熟度不高。纳米制造在工业应用上更少。究其原因,一方面是因为我国工业底子薄,一些Z适合应用到微纳技术的领域如芯片、大规模集成电路、汽车以及飞机发动机系统、高端制导系统等,核心技术、核心装备并没有掌握在我们手里;另一方面.我国的科研体系更倾向于能够产生市场效益的工程研究,而对于短期无法看到效益的基础研究支持力度不够,甚至有逐年下滑的趋势:第三。微纳制造技术不只是加工方法的问题,同样是制造装备的问题。高精密仪器设备及高精度制造、测量技术也是制约我国微纳技术发展的因素之一。
跨尺度微纳加工技术在超微电极制备中的应用基础科学的发展往往需要技术科学提供支持,微纳加工技术是实现器件和功能结构微纳米化的强有力的手段。将微纳加工技术应用于UMEs的制备可以实现:
1、减小绝缘层的厚度,制备具有微小电极尖 端整体尺寸的单UMEs,有利于微区分析,同时,随着绝缘层厚度的减小,单UMEs的扩散空间由半空间逐步向全空间转变;
2、根据不同的使用要求,对电极材料和绝缘材料的种类和性能可以进行一定的选择,扩大UMEs的使用范围;
3、UMEs的各组成部分之间具有良好的粘附性,降低UMEs在使用过程中性能退化的可能性,提高UMEs的性能;
4、UMEs的可控性制备,UMEs电极具有明确的几何定义的形状和尺寸;
5、UMEs的形状、尺寸和电化学响应具有较好的可重复性,有利于实验结果和理论分析之间的比较;
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