跨尺度微纳加工技术的应用
跨尺度微纳加工技术的应用，尽管微纳米加工方法多种多样，但日的只有一个，这就是制作具有实际用途的微纳米结构与器件.同一一种微纳米器件或结构可以用多种不同微纳米加_工技术实现.任何一种微纳米结构的加工都需要不止一种微纳米加工技术.脱离开实际应用谈微纳米加工技术是毫无意义的.但在众多加工技术中如何针对某一特殊应用选择合适的加工方法，应参考以下原则:
(1)Z小结构尺寸
( 2 )Z经济的加工方法
(3 )加工批量要求
(4 )生产与科研
(5)加工对象
跨尺度微纳加工技术与微纳米器件的开发是相互依存又相互促进的.新型微纳米器件推动微纳米加工技术的进步,而微纳米加工技术的进步反过来又会启发新型微纳米器件的开发。在现代高科技发展中,微纳米技术可以说是无处不在.微型化已经从集成电路芯片发展到其他各个应用领域.微纳米加工技术是微纳米技术的基础.这种依赖关系集中体现在下述应用领域:半导体集成电路,纳米电子学，高密度磁存贮，微系统，生物芯片与纳米科技.这些领域都是当前热门的高科技发展领域.
跨尺度微纳加工应用领域：
1.光刻技术替代者
2.集成电路领域
3.光学领域
制作高密度亚波长光栅，应用在金属起偏器上，制备光子晶体等。
4.存储领域
采用热压印技术制备高密度光盘位存储器
5.生物领域
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